3. 강의목표
- 교과목 개요: 반도체 소자는 다양한 박막들이 3차원 적층 구조를 이루어 목적하는 기능과 성능을 발휘한다. 반도체소자를 구성하는 박막은 기판위에 형성되고, 벌크보다 큰 비표면적, 계면형성으로 벌크와 다른 물리적/화학적 물성을 갖는다. 이러한 반도체 박막의 성장 메카니즘, 표면효과, 전기적/기계적/열적/광학적 물성을 이해하고, 그 물성을 측정할 수 있는 원리를 학습한다. 본 강의에서는 이러한 반도체 박막의 성장기구와 물성을 반도체 소자 개발에 활용할 수 있는 역량을 함양한다.
- 교육 목표: 반도체 박막공정, 스케일링 효과, 전기적/기계적/열적/광학적 물성을 이해하므로써 반도체 박막이 사용되는 다양한 반도체 소자 응용분야에 적용할 수 있는 능력을 배양하고자 한다.
5. 성적평가
평가방법: 중간고사(40%), 기말고사(60%)
7. 참고문헌 및 자료
- Electronic thin film science, K.N. Tu
- Thermal conductivity, T.M. Tritt
- Semiconductor Devices-Physics and Technology, S.M.Sze
- Electronic properties of Materials, R.E. Hummel
8. 강의진도계획
1주차 Thin film growth I –nucleation/growth, monolayer, multilayer
2주차 Thin film growth II – Homoepitaxy, heteroepitaxy, superlattice
3주차 Surface energy and surface stress : principles and measurements
4주차 Diffusion and kinetics in thin films : principles and measurements
5주차 Amopphization, crystallization, and epitaxy in thin films
6주차 Thin film reaction
7주차 size-effects on material properties
8주차 중간고사
9주차 Thin film mechanics : basics and measurements
10주차 Electrical properties of thin film I : heterostructure, quantum wells, superlattice
11주차 Electrical properties of thin film II : applications and measurements
12주차 Optical properties of thin film I: basics, applications and measurements
13주차 Thermal properties of thin film : principles, measurements
14주차 Thermoelectric properties of thin film
15주차 Electromigration / Thermomigration
16주차 기말고사
9. 수업운영
- 강의유형: 오프라인
- 교수/학습 방법: 이론 강의 및 토론
11. 장애학생에 대한 학습지원 사항
- 수강 관련: 문자 통역(청각), 교과목 보조(발달), 노트필기(전 유형) 등
- 시험 관련: 시험시간 연장(필요시 전 유형), 시험지 확대 복사(시각) 등
- 기타 추가 요청사항 발생 시 장애학생지원센터(279-2434)로 요청