3. 강의목표
기초적인 반도체 집적회로 공정기술 (Microfabrication Technology)을 바탕으로, 전반적인 MEMS (Microelectromechanical Systems) 공정 기술과 이론에 접근한다. 실제적인 MEMS 기술로 만들어진 각종 마이크로 센서(Microsensors) 및 액튜에이터(Actuators), 그리고 그 적용에 대해 강의하며, 기계, 전자, 재료, 물리, 생명공학등 여러분야의 응용 가능성을 모색하도록 한다.
5. 성적평가
출석 및 Homework: 20%, Midterm exam: 25%, Final exam: 35%, Term project: 20%
7. 참고문헌 및 자료
Lecture Notes
Semiconductor Manufacturing Technology, Michael Quirk/Julian Serda, Prentice Hall, 2001.
Micromachined Transducers: Sourcebook, Gregory T.A. Kovacs, McGraw-Hill, 1998.
Fundamentals of Microfabrication, 2nd Ed., Marc Madou, CRC Press, 1997.
Introduction to Microelectronic fabrication, 2nd Ed., Richard C. Jaeger, Prentice Hall, 2001.
8. 강의진도계획
주 내용
1 Introduction to MEMS, History and the important papers
2 Phenomena in micro-scale world
3 Photolithography
4 Surface micromachining
5 Surface micromachining
6 Bulk micromachining
7 Bulk micromachining
8 Midterm & Term project proposal
9 LIGA process
10 MEMS packaging
11 MEMS applications
12 MEMS applications
13 MEMS applications
14 Nanofabrication overview
15 Term project presentation
16 Final exam
10. 학습법 소개 및 기타사항
In class lecture
11. 장애학생에 대한 학습지원 사항
- 수강 관련: 문자 통역(청각), 교과목 보조(발달), 노트필기(전 유형) 등
- 시험 관련: 시험시간 연장(필요시 전 유형), 시험지 확대 복사(시각) 등
- 기타 추가 요청사항 발생 시 장애학생지원센터(279-2434)로 요청