2024년도 여름학기 반도체 공정 장비 활용 실습 (DISU221-01) 강의계획서

1. 수업정보

학수번호 DISU221 분반 01 학점 1.00
이수구분 전공선택 강좌유형 강의실 강좌 선수과목
포스테키안 핵심역량
강의시간 월, 화, 수, 목, 금 / 09:00 ~ 18:00 / 성적취득 구분 S/U

2. 강의교수 정보

이병철 이름 이병철 학과(전공) 반도체 지산학연 협력센터
이메일 주소 bclee@postech.ac.kr Homepage
연구실 전화 054-279-5079
Office Hours 5일동안 집중 교육으로 해당 없음

3. 강의목표

-교과목 개요
* 포항공과대학교 나노융합기술원 시설을 활용하여 반도체 공정에 대한 개괄적인 체험 및 실습 기회를 제공
-교육 목표
* 반도체 공정의 기본 원리와 용어를 개괄적으로 이해한다.
* 반도체 공정의 주요 단계를 직접 체험하도록 한다.
* 반도체 공정 이론과 실기를 개괄적으로 학습하여 반도체 분야의 학습에 동기를 부여한다.

4. 강의선수/수강필수사항

* 전자전기공학개론 수강을 추천
* 대학생만 수강 가능 (대학원생은 불가능함)
* 실습 수업 시작 중에 수강 포기는 일반적으로 불가함 (혁신융합대학 사업비 집행 상 실습 취소 불가)

5. 성적평가

성적산출방법: 출석 100%

6. 강의교재

도서명 저자명 출판사 출판년도 ISBN

7. 참고문헌 및 자료

8. 강의진도계획

소개: 오리엔테이션. 실습팀 구성. 클린룸 출입 및 안전 교육. 반도체 기초 이론 교육.
포토 공정 Coater, Developer, Exposure 작업 실습
포토 공정 E-Beam Lithography 전자 이미지 작업 실습
포토 공정 Mask Aligner 작업 실습
에칭 공정 ICP Etcher를 이용한 박막 에칭 작업 실습
에칭 공정 Etching on pattern 및 depth 측정 실습
에칭 공정 PR asher장비에서 O2Plasma를 이용한 shing 공정 작업 습
확산 공정 Furnace를 이용한 산화막 증착 작업 실습
확산 공정 RTP를 이용한 불순물 활성화 공정 작업 실습
확산 공정 PVD 장비를 이용한 금속박막 증착 작업 실습
박막 공정 PE-CVD SiO2 박막 증착 작업 실습
박막 공정 LP-CVD Poly si 박막 증착 작업 실습
박막 공정 ALD AL2O3 박막 증착 작업 실습

9. 수업운영

실습 및 발표

10. 학습법 소개 및 기타사항

11. 장애학생에 대한 학습지원 사항

- 수강 관련: 문자 통역(청각), 교과목 보조(발달), 노트필기(전 유형) 등

- 시험 관련: 시험시간 연장(필요시 전 유형), 시험지 확대 복사(시각) 등

- 기타 추가 요청사항 발생 시 장애학생지원센터(279-2434)로 요청

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번호 학기명 학수번호 분반 강좌명