3. 강의목표
- 교과목 개요: 반도체 소자는 다양한 박막들이 적층 구조를 이루어 목적하는 기능과 성능을 발휘한다. 반도체 박막은 기판위에 형성되고, 벌크보다 큰 비표면적, 계면형성으로 벌크와 다른 물리적/화학적 물성을 갖는다. 이러한 반도체 박막의 성장 메카니즘, 표면효과, 전기적/기계적/열적 물성을 이해하고, 그 물성을 측정 분석할 수 있는 원리를 학습한다. 본 강의에서는 이러한 반도체 박막의 구조 물성을 이해를 바탕으로 반도체 소자 개발에 활용할 수 있는 역량을 함양한다.
- 교육 목표: 반도체 박막공정, 스케일링 효과, 전기적/기계적/열적 물성 등을 이해하므로써 반도체 박막이 사용되는 다양한 반도체 소자 응용분야에 적용할 수 있는 능력을 배양하고자 한다.
5. 성적평가
- 평가방법: 중간고사(40%), 기말고사(40%), 출석 (20%)
6. 강의교재
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저자명 |
출판사 |
출판년도 |
ISBN |
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강의시간에 강의자료 제공
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7. 참고문헌 및 자료
강의시간에 참고문헌 제공
8. 강의진도계획
1~2주차 Thin film growth and related feature
3~6주차 surfaces, diffusion, reactions in thin films
7주차 Thin film mechanics I
8주차 중간고사
9~11주차 Thin film mechanics II
11~14주차 Electrical and thermal properties of thin film
14 ~15주차 Failures in thin films (EM/TM, interface failures 등)
16주차 기말고사
9. 수업운영
- 강의유형: 오프라인
- 교수/학습 방법: 이론 강의 및 토론
10. 학습법 소개 및 기타사항
- 강의유형(온/오프 하이브리드)
11. 장애학생에 대한 학습지원 사항
- 수강 관련: 문자 통역(청각), 교과목 보조(발달), 노트필기(전 유형) 등
- 시험 관련: 시험시간 연장(필요시 전 유형), 시험지 확대 복사(시각) 등
- 기타 추가 요청사항 발생 시 장애학생지원센터(279-2434)로 요청