2025년도 여름학기 반도체 공정 장비 활용 실습 (DISU221-01) 강의계획서

1. 수업정보

학수번호 DISU221 분반 01 학점 1.00
이수구분 전공선택 강좌유형 강의실 강좌 선수과목
포스테키안 핵심역량
강의시간 월, 화, 수, 목, 금 / 09:00 ~ 18:00 / 성적취득 구분 S/U

2. 강의교수 정보

이병철 이름 이병철 학과(전공) 반도체 지산학연 협력센터
이메일 주소 bclee@postech.ac.kr Homepage
연구실 전화 054-279-5079
Office Hours

3. 강의목표

반도체 공정의 기본 원리와 용어를 개괄적으로 이해한다.
반도체 공정의 주요 단계를 직접 체험하도록 한다.
반도체 공정 이론과 실기를 개괄적으로 학습하여 반도체 분야의 학습에 동기를 부여한다.

4. 강의선수/수강필수사항

* 개강 이후 수강 정정 및 수강 포기는 부득이한 사유 (질병, 사고 등)가 없이 허용되지 않음

5. 성적평가

성적산출방법: 출석 100%

6. 강의교재

도서명 저자명 출판사 출판년도 ISBN

7. 참고문헌 및 자료

8. 강의진도계획

오리엔테이션
실습팀 구성
클린룸 출입 및 안전 교육
반도체 기초 이론 교육

Coater, Developer, Exposure 작업
E-Beam Lithography 전자 이미지 작업
Mask Aligner 작업
ICP Etcher를 이용한 박막 에칭 작업
Etching on pattern 및 depth 측정
PR asher장비에서 O2Plasma를 이용한
Ashing 공정 작업
Furnace를 이용한 산화막 증착 작업
RTP를 이용한 불순물 활성화 공정 작업
PVD 장비를 이용한 금속박막 증착 작업
PE-CVD SiO2 박막 증착 작업
LP-CVD Poly si 박막 증착 작업
ALD AL2O3 박막 증착 작업

9. 수업운영

10. 학습법 소개 및 기타사항

나노융합기술원 소속 연구원이 반도체 공정 강의 및 실습 지도

11. 장애학생에 대한 학습지원 사항

- 수강 관련: 문자 통역(청각), 교과목 보조(발달), 노트필기(전 유형) 등

- 시험 관련: 시험시간 연장(필요시 전 유형), 시험지 확대 복사(시각) 등

- 기타 추가 요청사항 발생 시 장애학생지원센터(279-2434)로 요청

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번호 학기명 학수번호 분반 강좌명